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《扩散炉能源消耗规范》行业标准报批

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　　本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。

　　本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃～1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。

　　附件：报行-扩散炉能源消耗规范

作者：佚名 来源：中国电子工业标准技术网 发布时间：2009年01月14日
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