本书介绍的主要内容有：扫描隧道显微镜和原子力显微镜；分子操纵与组装技术；纳米材料学；纳米电子学；纳米生物学；微细加工技术、微机械和微型机电系统。涉及了微/纳米技术的各分支领域，涵盖了物理、化学、生物、材料、机电、航空航天、汽车、能源、微电子、测量、控制、计算机、信息、网络、医药、纺织、军事、制造等各方面，可以说，本书内容与理、工、农、医中的各个专业都有联系。
本书可供高等学校相关专业的研究生和本科学生作为教材，也可供从事微/纳米科技工作的人员作为参考。