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微细加工技术
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    本书是《现代加工技术丛书》之一。本书从微细加工技术的基础知识讲起，较为详细地介绍了光学曝光技术、光学分辨率增强技术、电子束光刻技术、X射线光刻技术、极端远紫外光刻技术、刻蚀技术以及其他纳米加工技术。本书较为全面地反映了我国微细加工技术的现状，并在此基础上介绍了国际微细加工的先进技术及其发展趋势。
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