微系统技术是以微米量级内的设计和制造技术为基础，研究开发微传感器、微致动器以及信号处理和控制电路，直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。微系统可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可嵌入大尺寸系统中，把自动化、智能化和可靠性提高到一个新的水平。预期未来微系统将是科技上举足轻重的新领域，具有广阔的应用前景。本书系统地阐述了微系统技术的基本概念、原理和特点；全面介绍了微系统设计技术、微制造技术、微系统检测技术、微系统集成与控制技术和典型微系统——芯片实验室技术。本书可以作为高校相关专业研究生和高年级本科生的选修课材和课外读物，也适合微系统技术和专业人员及对微系统技术感兴趣的有关人员阅读。