本部分适用于半导体压力传感器,它等同采用IEC 60747-14-3:2001《半导体器件 第14-3部分:半导体传感器--压力传感器》。本部分规定了测量绝压、表压和差压的半导体传感器的要求。 发布日期: 2006-8-23 实施日期: 2007-2-1